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外延HgCdTe薄膜材料的热处理

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摘要

回顾了三种主要外延技术即:LPE、VPE(MOVPE、ISOVPE)和MBE生长的外延HgCdTe薄膜材料在各种不同条件热处理的实验结果,总结了热处理过程对薄膜材料产生的各种影响.

著录项

来源
《2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会》|2003年|125-127|共3页
会议地点武汉
作者
孔金丞; 马庆华; 陈建才; 吴军; 杨宇; 姬荣斌;
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作者单位

中国宇航学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类稀土半导体;表面处理;
关键词
HgCdTe外延薄膜; 热处理; 电学参数; 杂质; 缺陷;

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