变温循环热处理对液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的影响

孔金丞; 李艳辉; 赵俊; 唐利斌; 姬荣斌

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变温循环热处理对液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的影响

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采用X射线衍射双晶回摆曲线半峰宽(FWHM)、反射式X射线形貌相和腐蚀坑密度(EPD)技术对开管变温热处理前后的液相外延(LPE)Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量进行了研究.变温循环热处理能有效减小液相外延Hg1-CdxTe薄膜材料的FWHM、释放材料中的应力、减少材料的腐蚀坑密度,说明变温循环热处理是一种简单而有效的改善Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的方法.

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来源
《红外技术》 |2007年第3期|140-142,146|共4页
作者
孔金丞; 李艳辉; 赵俊; 唐利斌; 姬荣斌;
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作者单位

昆明物理研究所,云南,昆明,650091;

昆明物理研究所,云南,昆明,650091;

昆明物理研究所,云南,昆明,650091;

昆明物理研究所,云南,昆明,650091;

昆明物理研究所,云南,昆明,650091;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类红外光学材料;
关键词
开管变温循环热处理; Hg1-xCdxTe; FWHM; 反射式X射线形貌相; EPD;

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