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1064nm激光增强HfO<,2>/SiO<,2>薄膜抗激光损伤研究

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用1064nm激光实验研究了HfO<,2>/SiO<,2>薄膜的激光损伤增强效应,实验以薄膜激光损伤阈值70﹪的激光能量开始,采用N-ON-1方式处理薄膜,激光脉冲的能量增量为5J/cm<'2>.实验结果表明,激光处理薄膜表面能使激光损伤阈值提高3倍.

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