探空微型电容压力传感器设计

摘要

气压的测量在航空航天、气象预报、环境检测等领域中具有重要的意义.微型电容压力传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高的优点,在气体压力测量中被广泛应用.本文根据前人科研成果,分析了微型电容压力传感器的优缺点,以及在设计过程中常常需要考虑到的一些问题:比如寄生电容的影响,电极的引出方式,采用的力学结构和模式,加工工艺等.在此基础上,利用MEMS加工技术,设计了一个用于高空气压检测的微型电容压力传感器.其大气压力测量范围是600hPa~1060hPa,精度为0.5hPa.本文对其进行了理论分析和数值计算模拟.