首页> 中文会议>第八届敏感元件与传感器学术会议 >金刚石压敏电阻压力传感器有限元分析

金刚石压敏电阻压力传感器有限元分析

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

介绍用硅方膜作基底,掺硼刻蚀金刚石压敏电阻的方法制作压力传感器,而掺硼压敏电阻与硅基底的电绝缘,由一层未掺杂的金刚石薄膜获得.纵向排列的压敏电阻连接成惠斯顿电桥,传感器的桥电压与压力之间显示极好的线性关系.

著录项

来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|452-454|共3页
会议地点北京
作者
孙伟; 曲长庆; 潘鹏; 杨保; 常明;
展开▼
作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
有限元; 压敏电阻; 优化设计; 压力传感器;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 高温压力传感器的新进展——金刚石微压力传感器 [J] . 莘海维 ,张志明 ,沈荷生 . 化学世界 . 2000,第S1期
2. 电镀金刚石技术在氧化锌压敏电阻片研磨设备改造中的应用 [J] . 李永祥 ,苏磊 ,侯国文 . 电瓷避雷器 . 2001,第006期
3. 金刚石膜压力传感器的优化设计(Ⅰ) [J] . 杨保和 ,孙伟 ,孙以才 . 光电子．激光 . 2003,第5期
4. 金刚石膜压力传感器的优化设计(Ⅱ) [J] . 杨保和 ,孙以才 ,孙伟 . 光电子．激光 . 2003,第7期
5. 压阻式金刚石压力传感器的优化设计 [J] . 莘海维 ,张志明 ,戴永斌 . 传感器与微系统 . 2002,第003期
6. CeO2,La2O3,Y2O3和V2O5改善金刚石铁基结合剂热应力的有限元分析及验证 [C] . 韩平 ,陈功武 ,邹文俊 . 第八届中国金刚石相关材料及应用学术研讨会 . 2014
7. 纳米金刚石复合薄膜及微压力传感器的研究 [A] . 莘海维 . 2002

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号