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利用HFCVD简易装置制备纳米金刚石薄膜研究

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纳米金刚石薄膜具有金刚石薄膜和纳米材料的双重特性,其应用前景广阔.本论文通过改装得到一套适用于HFCVD的简易制膜设备,制备出了纳米金刚石薄膜.并对影响薄膜生长的压强、衬底温度、沉积时间进行了讨论.

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来源
《第六届全国新型炭材料学术研讨会》|2003年|393-397|共5页
会议地点昆明
作者
方静华; 项金钟; 信思树; 朱艳; 杨海刚; 吴兴惠;
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作者单位

中国科学院山西煤炭化学研究所;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
纳米金刚石薄膜; 纳米材料; HFCVD; 薄膜生长; 衬底温度; 沉积时间;

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