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Fe/Pt多层膜化降低L1<,0>-FePt有序相转变温度

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采用直流磁控测射方法制备了Fe/Pt多层膜和FePt单层薄膜,后在不同温度下真空热处理得到了有序相L1<,0>-FePt薄膜.研究表明,Fe/Pt多层膜化可以降低FePt薄膜有序相的转变温度.[Fe(1.5nm)/Pt(1.5nm)]<,13>薄膜在350℃热处理后,有序度已经增加到0.6,而且矫顽力达到了6.1KOe.多层膜化促进有序化在较低的温度下进行主要是原子在多层膜界面扩散更快的结果.

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来源
《第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议》|2004年|401-405|共5页
会议地点大连
作者
李宝河; 黄阀; 杨涛; 翟中海; 朱逢吾;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类磁性半导体、磁阻半导体;
关键词
有序相; 磁控溅射; Fe/Pt多层膜; L1,0-FePt薄膜; 转变温度;

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Fe/Pt多层膜化降低L1<,0>-FePt有序相转变温度

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