PECVD制备a-C:H:N薄膜的微观结构研究

摘要

非晶含氢碳膜(amorphous hydrogenated carbon a-C:H films)在力学、热学、电学、化学、光学等方面具有优异的性能,被广泛应用于诸多领域,有巨大的应用前景.随着a-C:H薄膜制备技术的进一步完善,在此基础上的改性材料又引起了人们的注意.氮掺杂类金刚石薄膜(a-C:H:N)近年来成为人们研究的热点,这主要是源于合成超硬化合物C<,3>N<,4>的理论预言.研究发现,氮的掺入会使a-C:H薄膜的内应力降低,附着力增加,抗磨性能有所提高,而其硬度却有所降低.