偏振化能量色散X射线荧光光谱仪的新进展

摘要

能量色散X射线荧光光谱仪,由于其仪器本身结构比较简单,X射线的分析线强度利用率高,又能同时接受所有X射线光谱,近年来逐渐被广泛采用.特别半导体技术飞跃发展,促使半导体探测器分辨能力的提高,目前商品化的Si(Li)漂移探测器在MnKα 5.9 keV处和计数率在10000cps以下时,其能量分辨率已达157eV,这样大大扩大它的使用.