一种偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪

摘要

本发明公开了一种偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪，光谱仪将二次靶和样品两个平面布置在空间立体光路上，光谱仪的X光管射出原级X射线，所述的原级X射线以45°角入射到二次靶上，从二次靶上以45°出射的原级X射线的散射线是偏振方向垂直于入射平面的全偏振X射线，原级X射线在二次靶上激发的靶材特征X射线为各向同性的圆偏振线，且为分立谱线；提高峰背比，降低微量元素检测的检出限，并可以检测出样品中的低含量元素，提高了测试的准确性和效率。