偏振化能量色散X射线荧光光谱仪的新进展

摘要

能量色散X射线荧光光谱仪,由于其仪器本身结构比较简单,X射线的分析线强度利用率高,又能同时接受所有X射线光谱,近年来逐渐被广泛采用.特别半导体技术飞跃发展,促使半导体探测器分辨能力的提高,目前商品化的Si(Li)漂移探测器在MnKα5.9 keV处和计数率在10000cps以下时,其能量分辨率已达157 eV,这样大大扩大它的使用.从长远观点看,1998年47届Denver会议上,美国国家标准技术研究院(NIST)提出3 eV微热量计(micro calorimeter),其能量分辨率几乎可达到波长色散水平.当然目前由于成本昂贵,还没有达到实用阶段,另外偏振化技术的应用,使谱线散射背景大大降低,使能量色散X射线荧光痕量分析已达μg/g级,并成为地质、环保、冶金材料的科研和生产主导分析方法之一.从1992年开始斯派克分析仪器公司就开始生产偏振化能量色散X射线荧光光谱仪.……