非晶硅太阳电池TCO/Metal复合背反射电极研究

摘要

本文采用射频磁控溅射制备ITO 和ZnO:Al 透明导电膜，并成功地将ITO/Ag 和ZnO/Al/SS 复合背反射电极应用于pin 和nip 结构的非晶硅薄膜太阳电池，短路电流得以显著提高，个别电池的短路电流增幅高达30％。分析认为，背电极的Lambertian 织构是复合背反射电极陷光效果的关键。而背窗口层的作用主要是阻挡金属Ag或Al与非晶硅n层间的互扩散。