芯片及微细加工超净环境技术的研究

摘要

本文通过对芯片及微细加工工艺对环境问题要求的研究,探讨了获取超净环境的方法、构建了超净环境动力模型,并对超净环境设计中关键问题进行了较为深入的探讨,为芯片生产及微细加工超净环境设计提供了理论基础。