TiCoO<,2>薄膜的制备与铁磁性研究

摘要

使用一种新的途径制备TiCoO<,2>薄膜.首先利用射频磁控反应溅射制备TiCoN薄膜样品.然后通过低真空氧化制得TiCoO<,2>薄膜样品.利用振动样品磁强计(VSM)测量了样品在常温下的磁特性.结果显示样品在常温下具有明显的铁磁性.其矫顽力300Oe,饱和磁化强度350emu/cm<'3>,饱和场1500Oe.利用X射线光电子能谱(XPS)分析样品的元素成分及Co元素的化合状态.确定有50﹪以上的Co原子掺入到TiO<,2>晶格中.