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低量程高精度应变式压力传感器研制

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基于有限元方法,设计了一种用于应变式压力传感器的梁-膜-岛结构弹性体,分析了这种结构的优点;找到了结构参数的最佳匹配值,使传感器的精度大幅度提高,量程范围进一步降低;同时具有结构简单、易于加工装配、成本低廉的特点.

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来源
《2004全国空气动力测控技术交流会》|2004年|262-269|共8页
会议地点井冈山
作者
于炜;
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作者单位

中国空气动力学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.12;
关键词
传感器; 梁-膜-岛结构; 有限元; 结构参数; 量程范围;

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