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肖瑛; 刘涌; 韩高荣;
中国真空学会;
纳米硅; 化学气相沉积; 退火; 光致发光;
机译:PECVD生长的富硅氮化硅薄膜中嵌入的硅纳米晶体光致发光特性的退火温度依赖性
机译:ZnO纳米针/纳米柱复合膜的制备及退火引起的微结构和光致发光特性的改善
机译:硅掺杂和纳米复合硅金刚石薄膜:硅中心的阴极发光和光致发光特性
机译:纳米晶硅NC_Si薄膜发光特性的研究与开发
机译:感应加热的铁磁薄膜对多晶硅微结构的局部退火。
机译:硅纤维素纳米复合材料的发光特性
机译:退火环境对富硅纳米薄膜中纳米硅相关光致发光的影响
机译:通过注入产生的硅纳米晶体的可见光发射的退火研究
机译:沉积硅系列纳米微粒薄膜的方法,硅系列纳米微粒薄膜和沉积硅系列纳米薄膜的装置
机译:基于硅的纳米颗粒薄膜的气相沉积方法,基于硅的纳米颗粒薄膜以及基于硅的纳米颗粒薄膜的气相沉积装置
机译:沉积硅系列纳米颗粒薄膜的方法,硅系列纳米颗粒薄膜和沉积硅系列纳米颗粒薄膜的设备
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