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基于无背板生长法的塑料微流控芯片热压金属模具的制作方法

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本文介绍了一种塑料微流控芯片热压金属模具的制作方法.微热压模具是利用负性厚SU-8光刻胶,通过低成本的UV-LIGA表面微加工工艺制作的.具体而言,微模具是直接将高纯镍、铜板作为基板、SU-8胶模作为母模,借助于镍的微电铸完成的-无背板生长法.利用本文的无背板生长法,可制作多种形式的侧壁垂直度好、表面光洁度高的微电铸金属模具.

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来源
《第三届全国微全分析系统学术会议》|2005年|57-58|共2页
会议地点武汉
作者
杜立群; 刘冲; 刘军山; 肖日松; 秦江; 刘海军; 尉元杰;
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作者单位

中国化学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类模具;分析自动化;
关键词
微电铸; 光刻胶; 金属微模具; 无背板生长法; 微流控芯片; 表面微加工;
入库时间 2022-08-17 10:56:46

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