微腔四极质谱管的研究

摘要

本文研究了一种采用真空隔离法原理设计的微腔体质谱管,其原理是:把四极杆内离子有效运动空间和其相邻极杆表面保留在真空腔内,而把电极非有效部分移到真空腔外,该特点是在保持传统四极杆的几何尺寸和维持原有的技术指标不变下极大地缩小了真空腔体的体积.该质谱管最保贵的优点是可以直接作为电子管的一个附件,共同排气,电子管封离后进行"完全真实"的质谱分析,最后再与电子管封离,不再需要复杂的质谱取样分析系统.该真空隔离技术原则上还可应用于其它质谱管和真空装置的改进.