正偏压对纳米金刚石薄膜显微结构和电学性能的影响

摘要

化学气相沉积金刚石薄膜具有所有的天然金刚石单晶的物理性能,它们被认为是下列各种应用非常有希望的候选材料,如热沉,声表面波器件,X射线光刻掩模,传感器及其电子器件,光学元器件涂层,切割工具和滑动部件等.然而化学气相沉积金刚石薄膜是多晶薄膜,薄膜表面通常很粗糙.金刚石薄膜表面的抛光通常很困难.而通过生长纳米尺寸晶粒的薄膜可以大大降低薄膜表面粗糙度.当金刚石薄膜晶粒减小至几十纳米时,薄膜表面变得相当光滑,具有好的红外光学透过率,高的硬度和低的摩擦系数.