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罗强; 金爱子; 杨海方; 顾长志;
中国电子学会;
聚焦离子束; 诱导沉积; 铂; 电阻率;
机译:生长的聚焦离子束和聚焦电子束诱导的Pt纳米沉积电阻率差异的起源
机译:通过聚焦离子束沉积铂的电学特性的测试结构
机译:铂二亚胺双(乙炔基)和铂吡啶基乙炔基铂络合物,用于光诱导电荷分离。
机译:FIB沉积铂互连体的微观演变与电阻率变化的关系
机译:在使用纳米多孔硅的铂电沉积中,观察到阳离子物种对铂络合物阴离子表面诱导的相变的影响。
机译:聚焦离子束诱导低电阻率金膜的沉积。
机译:束流诱导沉积低电阻率材料
机译:束流诱导的低电阻率材料沉积
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