扫描电子显微成像模拟的并行实现

摘要

利用MonteCarlo计算方法可以模拟电子束与样品的相互作用过程,从而了解扫描电子显微学中信号的产生机制.采用实体结构几何法模型来产生复杂试样的几何构型,利用光线追踪算法求得散射事件间的步长抽样修正.电子散射的物理模型则采用Mott散射截面描述电子与原子间的弹性相互作用,以及用介电函数描述电子与固体的非弹性相互作用,同时还考虑到了二次电子的级联产生过程.利用并行计算技术对模拟算法进行了并行化,模拟得到出了若干复杂几何体的二次电子像和背散射电子像.