计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动

摘要

为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数.依据机械位移台工况建立模型,运用有限元方法对它进行静力及模态分析,获取机械位移台系统结构的振动参数;在模态分析的基础上对机械位移台进行谐响应分析,获取外界载荷频率与位移台上平面应力、应变、变形以及加速度之间的关系.机械位移台的静刚度为6.634×105 N/mm;水平X,Z两运动方向的耦合比分别为15.22％和17.63％;通过上层平面振动参数关于频率的响应曲线,得出危险频率为7 750 Hz左右,即第8阶固有模态下的频率.X,Z两运动方向耦合较为明显,在对机械位移台进一步改进中,避开危险频率的同时,需对其进行位移补偿.