离子辅助蒸发TixOy制备氧化钛薄膜及特性

摘要

本文采用离子辅助沉积的方法,分别以TiO2和Ti3O5为初始膜料在K9玻璃上制备了氧化钛薄膜,并研究了离子束流密度对以Ti3O5为膜料制备的薄膜透射性能的影响，实验结果表明,热处理前薄膜都为无定形结构；薄膜透射率极值随束流密度增大有临界值。