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薄膜厚度对其纳米压痕行为影响的有限元分析

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摘要

纳米压痕试验主要用于测定微米级及以下尺度的材料表面力学性能的特点,本文基于纳米压痕实验原理,采用简化的二维模型,对薄膜材料的纳米压痕行为进行了有限元模拟.分析了薄膜的厚度对其力学性能,主要是弹性模量和硬度的影响.

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来源
《第14届全国反应堆结构力学会议》|2006年|237-240|共4页
会议地点广西桂林
作者
张晓玲; 哈尔滨工业大学复合材料研究所; 王彪;
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作者单位

中国力学学会;

中国核学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;薄膜物理学;
关键词
纳米压痕; 有限元分析; 薄膜厚度; 力学性能; 弹性模量; 硬度;

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