射频感应耦合等离子体的数值模型

摘要

低温等离子体在传统和高新产业中取得了愈来愈重要的地位,射频感应耦合等离子体作为一种重要类型的等离子体被人们广泛深入地研究和应用.本文采用流体模型,通过数值模拟方法研究了射频感应耦合等离子体(ICP)中等离子体密度和电子温度等物理量的空间分布;分析了不同结构和放电气压对等离子体密度和电子温度空间分布的影响。