超纯高净过氧化氢的工业化生产技术

摘要

微电子化学品的特点之一是品种繁多,我国能工业化生产或能提供批量生产的产品品种有近1000种.微电子化学品是为电子工业配套的专用化工材料,质量要求高,产品更新换代快,投资回报率高[1-7].特别是近年来,随着中国不断扩大对外开放和加入世贸组织,中国的信息产业正在快速发展,国外厂商纷纷前来投资大规模集成电路制造业,我国微电子工业的迅速发展,大规模集成电路的生产,不仅推动了微电子化学品的迅速发展,也对其质量提出了极为苛刻的要求.微电子化学品是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一,主要用于半导体制造过程,用以冲洗晶片及制作研磨剂,蚀刻剂和光刻胶去除剂等.预计近几年,全国将新建15家33条超大规模集成电路生产线,预计届时全国的微电子化学品的需求量将达到7.2万吨/年.我国还将逐步形成以北京地区和上海地区为中心的南北微电子基地[1-3].但是,微电子化学品长期依赖进口.本文主要论述当前国际国内在微电子无机超净高纯化学品等方面的研究现状特别综述了几种超纯无机酸的制备方法,提出微电子无机化学品发展的方向.