超大工件激光精密加工质量控制

摘要

本文研究了超大工件激光精密加工飞行光学高斯光束聚焦特性。理论研究表明：将某一特定谐振腔的瑞利长度ZR取代q参量虚部的光斑尺寸w时，q参量的ABCD定律可以从基模推广到高阶模或几个模的叠加，并推导出飞行光学实际焦距与几何焦距之差△f的计算公式。为了精确控制飞行光学聚焦特性，研制了一台超大工件激光精密加工质量控制仪，实验和理论一致。