超精密加工に貢献する「エア式精密着座センサ」と活用事例－治具とワークの10μmの浮き上がりを安定検出

摘要

ワークチャック時における浮き上がり、チャック不良などを未然に防ぐため、2μmの繰り返し精度を誇る「エア式着座センサ」を開発した。ここでは、その特徴と使い方を紹介する。