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系统级设计方法及其在力学特性集成测试中的应用

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随着对微尺度下MEMS材料力学特性研究的深入,片上集成测试方法应用愈加广泛.针对MEMS系统具有多能量域耦合的特点,应用基于MEMS宏模型技术的系统级设计工具来获得整个系统的行为特性已成为研究热点.概述了几种建立MEMS宏模型的基本方法,并对其中的节点法进行了详细阐述,利用CoventorWare软件设计了一种测试多晶硅杨氏模量的集成测试结构,首次将系统级设计方法引入集成测试结构的设计,提高了设计效率,仿真结果可靠.

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来源
《第八届中国微米/纳米技术学术年会》|2006年|1313-1318|共6页
会议地点南京
作者
关乐; 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室; 褚金奎; 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室; 王晓东; 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室; 张段芹; 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室; 王立鼎; 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室;
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作者单位

中国微米/纳米技术学会;

中国仪器仪表学会;

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类设计;测试和检验;
关键词
系统级设计; 宏模型; 集成测试; 杨氏模量;
入库时间 2022-08-17 10:40:26

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