磁控溅射MoS2/Mo梯度复合镀层的摩擦磨损性能

摘要

用磁控溅射方法共溅射MoS2靶及金属Mo靶,溅射过程中逐渐调整Mo靶溅射功率至零,制备了MoS2/Mo梯度复合镀层.采用原子力显微镜(AFM)和扫描电镜(SEM)对MoS2/Mo梯度复合镀层的形貌和划痕进行表征,用球-盘式磨擦磨损仪在潮湿空气环境中测试了梯度复合镀层的摩擦磨损性能,用划痕迹仪测量镀层的结合力.结果表明,初始功率为30W的MoS2/Mo梯度复合镀层摩擦系数最低,接近纯MoS2镀层.MoS2/Mo梯度复合镀层的结合力都比纯MoS2镀层好,均达到100N以上,表现出良好的抗磨损性能.