圆盘转动方式批量化制备大面积双面YBa2Cu3O7-高温超导薄膜

摘要

报道了一种新型的、基于圆盘转动加热方式、多靶直流磁控溅射批量化制备大面积高温超导YBa2Cu3O7-（YBCO）薄膜的方法。此方法可以一次性制备φ3 英寸双面YBCO 薄膜12 片。研究了制备双面薄膜的取向、双面 Jc 一致性以及Tc 性能。结果表明：在750℃温度下批量化制备的YBCO 薄膜具有良好的c 轴取向，双面Jc 均值大于 3.0 MA/cm2，且分布均匀；微波表面电阻0.46～0.71 m，Tc>88 K。实验证实采用圆盘转动加热、对靶溅射方法是一种批量化制备高性能大面积双面高温超导薄膜的可行途径。