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SrTiO3薄膜晶格应变和热膨胀行为测定

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本文利用实验室的高分辨X射线衍射仪,测定了由脉冲激光生长的SrTiO3(STO)薄膜的晶格应变及应变随薄膜厚度的变化;实验表明,薄膜的晶格应变在膜内不是均匀分布的,可以分为3个深度区域,即表面张力区域、界面释放区域和薄膜应变线形分布区域.原位X射线衍射实验确定了薄膜的晶格参数随温度的变化,显示完全不同于相应的体块材料,这可能是有于衬底与薄膜之间不同的热膨胀行为造成的.

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来源
《第九届全国X-射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心（ICDD）研讨会》|2006年|282-285|共4页
会议地点杭州
作者
汪东华;
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作者单位

中国物理学会;

中国晶体学会;

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
薄膜晶格; 热膨胀; X射线衍射仪;
入库时间 2022-08-17 10:31:27

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