非硅材料三维形面超精密微细加工系统的设计

摘要

利用传统机加工的灵活优势并结合微细加工的特点,开发适于微细切削的加工设备已成为微细加工领域的一大热点。在小型数控铣床的基础上,进行了切削加工试验。试验结果表明：该铣床已经具备对meso尺度零件微细切削加工能力。