PSD相位定位法检测光斑位置的理论分析与仿真

摘要

利用PSD的RC传输线模型，对PSD相位法定位原理展开了理论分析研究，得出PSD电极输出电流的相位响应；初步研究结果表明，基于PSD相位定位法的光斑位置检测方法适合于多光束同步检测；但是相位定位法的线性度比幅值定位法低，相位测量法的位置检测灵敏度随着调制信号的频率增大而增大。