淬火对BiFeO3薄膜电效应的影响

摘要

采用溶胶-凝胶法和快速退火方法在LaNiO3/Si(100)衬底上制备了BiFeO3(BFO)薄膜。研究了淬火冷却与随炉冷却两种不同的冷却方式对BiFeO3薄膜的结构、形貌与电性能的影响。XRD研究表明淬火未对薄膜的结晶产生显著的影响。扫描电镜研究表明,淬火导致薄膜表面出现了裂纹,同时粗糙度增加。铁电性测试表明,淬火冷却的薄膜的铁电性得到了增强.通过对薄膜漏电流的观察发现,淬火的薄膜的漏电流相对自然冷却的薄膜减少。