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非制冷MEMS红外成像系统

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本文利用光力学效应设计研制了非制冷MEMS红外焦平面阵列及图像探测系统,提出并制作了新型间隔镀金的、无Si衬底的非制冷MEMS红外成像焦平面阵列,分析了FPA热响应时间、NETD、像元的一致性等问题,与光学检测系统共同组成红外成像系统,成功得到了室温背景下人体的热像.

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来源
《2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会》|2007年|7-9|共3页
会议地点上海
作者
陈大鹏; 焦彬彬; 李超波; 石莎莉; 史海涛; 程腾; 张青川; 伍小平;
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作者单位

中国宇航学会;

红外与激光编辑部;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;红外探测、红外探测器;
关键词
非制冷红外焦平面; MEMS; 氮化硅; 光力学效应;

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