旋转对称激光三角传感器系统误差因素研究

摘要

旋转对称激光三角位移传感器由于其离轴旋转对称的光学系统布局,具有比传统激光三角法更高的可靠性和更好的测量不确定度。本文研究了该类传感器的误差与不确定因素,重点对其制造与调整过程中可能引入的系统误差因素进行了分析与研究。建立了基于几何光学的误差模型。结果表明,投射激光光斑与光学系统旋转对称轴的重合性对位移测量不确定度的影响较大,检测器倾斜以及光学系统像差对测量结果也有一定影响。通过仿真和实验验证了理论分析的结果。