Cr-Si粉末冶金制程与其电阻特性之研究

摘要

粉末冶金制作法主要有热压(HP)、热均压(HIP)及常压烧结(Sinter)法三种.热压及热均压法可以很容易得到高密度化的高温金属硅化物,但若要进行大面积的烧结体制作,必须提升生产设备的规格能力,例如加大热压炉的出力吨数、扩大热压炉腔体等,其设备投资成本相对非常昂贵.所以大部份厂商在制作时采用常压烧结法,虽然高密度化的制程条件较不易控制,此法却因可以制作大面积金属硅化物,加上设备投资成本相对降低,使许多大厂已投入相当的人力、物力在开发此一制程.一般影响粉体烧结之主要因子可归纳为两大部份,一为粉体之特性,包括粉体之拉径大小及分布、组成成份；一为操作条件之影响,包括试体之成形压力、烧结温度、烧结时间及烧结之气氛等。此外,添加剂种类、升温速率及降温速率等亦会影响粉体烧结之程度。在此探讨烧结温度对于烧结体的机械性质以及微结构的影响本研究将尝试将利用真空烧结温度的不同,造成Cr-Si合金粉末烧结性质的差異,从中寻找稳定而可大量生产的可行性。借由制程温度的控制,来改善Cr-Si的物理性质与机械性质.由结果发现,烧结温度的提高会使得Cr-Si合金产生部分液相烧结的现象,而孔隙率显著下降.但结晶结构也随之有偏析与晶粒粗大化的现象。