新颖的分子玻璃抗蚀剂研究

摘要

分子玻璃体是在室温下为无定形态的低分子量材料.通过一元羧酸和二乙烯基醚的反应,得到了几种新颖的酯缩醛结构小分子化合物。这些有机化合物是无定形的,具有好的成膜性。它们可溶于常用的溶剂,具有高的热稳定性。在室温或稍高温度下,这些酯缩醛化合物可以被光产酸剂(PAG)产生的强酸很快分解,从而易溶于稀碱水溶液。它们与光产酸剂可组成化学增幅型正性分子玻璃抗蚀剂。初步测试了其成像性质。