柔性基底AZO薄膜制备及其红外发射率身性能研究

摘要

利用反应磁控溅射，用不同掺杂比的锌铝合金靶材，在PI有机柔性基底表面制备了附着力良好、电阻率低的透明AZO薄膜，利用AFM，XRD、分光光度计、四电子探针等分析测试技术对AZO薄膜的形貌、结构、光电性能等进行了表征。并对性能良好的AZO薄膜在(3～5μm)和(8～14μm)两个大气窗口的红外发射率身性能进行了研究。