高性能低成本AZO复合靶材制备工艺研究

摘要

高纯度、高密度、低成本的烧结复合氧化锌铝材料。本发明属于无机化学金属元素；其化合物。本发明公开了一种新型致密的复合氧化锌铝。其特征是在粉末中加入氧化镓Ga2O3粉末、并且不添加任何烧结助剂而使氧化锌铝烧结致密化。本发明所述的烧结AZO纯度高于99.9％，相对密度≥99.4％。这种致密的复合氧化锌铝可作为镀膜用靶材，在平板显示、光电转换、电子玻璃等领域有着广泛的应用。