薄圆石英晶片对径受力时的应力分布及试验研究

摘要

在分析半无限各向异性介质薄片在受集中力时介质内应力分布的基础上,通过延推和增加附加应力的方法,得到晶片受对径集中力作用时其频率的相对变化与加力方位角及加力强度的关系,并与电极置于几何中心时的谐振器的相对频率变化进行比对。同时用有限元方法对晶片受对径集中力作用时不同位置的应力变化进行了分析,并用实际蒸镀电极的方法测试了不同位置的谐振器的频率变化特性。结果表明,理论值与实验值相符。