非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/ZrN多层膜

摘要

采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/ZrN纳米多层膜,利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌。结果表明,在调制周期为30 nm时,纳米硬度达到38 GPa。