螺杆式干式真空泵

摘要

近年来在半导体工业和液晶显示器制造等工艺中,对清洁真空环境的要求越来越高.如在半导体的等离子增强气相沉淀(PECVD)和反应离子刻蚀(RIE)工艺中,在液晶生产上使用的蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中,不但要求环境清洁,而且还需要抽除大量含有微小颗粒及粉尘的反应生成气体.这些问题都不是传统的有油泵所能解决的.本文的研究对象——螺杆式于式真空泵,抽气腔内无任何工作液,保证了被抽空间不受污染;无油蒸汽排放,保证了外部环境的清洁.由于阴阳转子齿面间留有间隙,因而可以抽除含有粉尘,或有腐蚀性,有毒的气体.