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COOLING APPARATUS OF SCREW TYPE DRY VACCUM PUMP AND METHOD OF COOLING THE SAME

机译:螺杆式干式真空泵的冷却装置及其冷却方法

摘要

Disclosed is a cooling apparatus for a screw type dry vacuum pump capable of removing reaction byproducts and a cooling method thereof. The disclosed apparatus and method include a casing cooling unit installed on an outer circumferential surface of a casing for accommodating a rotor having a screw screw therein to allow the cooling water to flow in and out of the casing. It is further supplied by a three-way valve.
机译:本发明公开了一种能够去除反应副产物的螺杆式干式真空泵的冷却装置及其冷却方法。公开的设备和方法包括壳体冷却单元,该壳体冷却单元安装在壳体的外周表面上,用于容纳其中具有螺杆的转子,以允许冷却水流入和流出壳体。它进一步由三通阀提供。

著录项

  • 公开/公告号KR20050105365A

    专利类型

  • 公开/公告日2005-11-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD.;

    申请/专利号KR20040030472

  • 发明设计人 CHOI JONG HO;

    申请日2004-04-30

  • 分类号H01L21/02;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 22:04:19

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