CrN基复合薄膜的结构及机械性能

摘要

采用反应磁控溅射制备了几种CrN基复合薄膜.研究了复合对CrN薄膜的结构和摩擦磨损性能的影响.结果表明:所制备的合金复合薄膜中Al与Ti均以置换方式固溶于CrN中,取代了一部分Cr原子,形成固溶体的合金复合薄膜;而CrSiN与CrBN纳米复合薄膜均为纳米晶/非晶复合结构,其中CrN均为纳米晶,而薄膜中的Si与B均以非晶的氮化物形式存在于CrN晶粒的粒界中;复合薄膜的机械性能均有不同程度的提高.