金属Ti与非金属C复合对CrN薄膜的微观结构及摩擦学性能影响的研究

摘要

利用中频磁控溅射方法,在(111)硅片上制备了CrN、CrTiN和CrCN薄膜.采用X射线衍射(XRD)分析显示:CrN薄膜呈现比较随机的取向,而CrTiN薄膜明显的(200)取向,结晶性也变差;CrCN则没有出现结晶,通过XPS和Raman分析,发现薄膜中C含量很高,以无定形石墨相存在.CrN和CrTiN薄膜表面和断面没有明显的差别,而CrCN薄膜则出现明显的粗大的柱状结构生长.摩擦实验结果表明:CrCN和CrTiN的摩擦系数比CrN低,而且摩擦系数比较稳定。