射频能量对光致非平衡态等离子体的影响

摘要

本文利用数值计算的方法研究了由CO激光照射和低电压射频共同作用产生的非平衡态CO-N2气体混合物的分子振动温度的空间分布以及高能级振动动能分子碰撞所致的气体电离情况。计算结果说明耦合RF电场的CO激光可以产生稳定的非平衡态等离子体。本文的耦合RF电场只是提供的能量用来进一步激发产生高振动能态的气体分子，而一定高振动能态的气体分子可碰撞电离产生电子。