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【2h】

The influence of surface properties on the plasma dynamics in radio-frequency driven oxygen plasmas: Measurements and simulations

机译：射频驱动氧等离子体中表面特性对射频驱动氧等离子体等离子体动力学的影响：测量和模拟

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作者
Arthur Greb; Kari Niemi; Deborah OConnell; Timo Gans;
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年度 2013
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原文格式 PDF
正文语种
中图分类
入库时间 2022-08-20 22:07:41

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