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应用于短波段的减反射薄膜研究

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以Si为衬底设计并制备了四层结构的减反射薄膜,分别为TiO2、 YAG∶Ce和两种不同孔隙率的SiO2纳米柱膜层.薄膜在350-1100nm内的平均反射率为13.57％,在500nm以下平均反射率可低至16.6％,明显降低了短波段入射光的反射.

著录项

来源
《第九届华东三省一市真空学术交流会》|2015年|259-263|共5页
会议地点杭州
作者
康建; 娄朝刚;
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作者单位

安徽省真空学会;

浙江省真空学会;

江苏省真空学会;

上海真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
减反射薄膜; 电子束斜角蒸发; 磁控溅射; 硅衬底;
入库时间 2022-08-17 10:20:26

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